特許
J-GLOBAL ID：200903021669963281
非接触式磁気誘導送り装置
出願人/特許権者：
アネルバ株式会社
アネルバ株式会社 について
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053537
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226512
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 接触式磁気誘導送り装置の磁気結合方式で、真空等の特殊な環境下で基板トレイ等を滑らかに移動させ、安価でかつ高速な移動を可能にする。【構成】 螺旋形の磁気結合作用部19が形成された表面を有する駆動用回転部材18と、回転部材の回転軸に平行に配置されかつ案内部材14に案内されて直線的に移動するように取り付けられ、螺旋形の磁気結合作用部のピッチに等しい間隔33を有する複数の磁気結合作用部が設けられたスライド部材17を備え、駆動装置によって回転部材を回転させると、回転部材の磁気結合作用部とスライド部材の磁気結合作用部との間の磁気結合に基づいて、スライド部材が案内部材に沿って直線的に滑らかに移動するように構成される。
請求項（抜粋）：
螺旋形の磁気結合作用部が形成された表面を有する駆動用回転部材と、前記回転部材の回転軸に平行に配置されかつ案内部材に案内されて直線的に移動するように取り付けられ、螺旋形の前記磁気結合作用部のピッチと等しい間隔を有する複数の磁気結合作用部が設けられたスライド部材とを備え、駆動装置によって前記回転部材を回転させると、前記回転部材の前記磁気結合作用部と前記スライド部材の前記磁気結合作用部との間の磁気結合に基づいて、前記スライド部材が前記案内部材に沿って直線的に移動することを特徴とする非接触式磁気誘導送り装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
引用特許：
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