透湿度・気体透過度測定装置及び気体透過度測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：瀧野秀雄 , 越智浩史 , 松村貞男 , 垣内勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-166914
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345342
出願日： 2004年06月04日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】保護膜等の透湿度、ガス透過度の測定を従来に比べて高精度で短時間に行い、かつ、システムのコストを低減することを課題とする。【解決手段】試験片Sを雰囲気チャンバ11aと真空チャンバ12aの間に挟持し、雰囲気チャンバ11aと真空チャンバ12aを外気から密閉する。高真空排気系3と超高真空排気系4及び5により、雰囲気チャンバ11aと真空チャンバ12a及び試験気体導入系2内を超高真空状態にする。試験気体導入系2と水槽22とで水蒸気を発生させ、この水蒸気を導管aから雰囲気チャンバ11a内に導入する。超高真空排気系4で排気を続ける。超高真空計14で圧力を計測する。水蒸気導入時における真空チャンバ12a内の圧力が定常状態になったところで、水蒸気導入前の定常状態時の圧力とこの圧力差を求める。圧力差を透湿度に換算する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

外気から密閉される雰囲気チャンバと、外気から密閉される真空チャンバと、前記雰囲気チャンバと真空チャンバとの間に試験片を挟持して該雰囲気チャンバと真空チャンバとを密着固定する固定手段と、前記雰囲気チャンバに接続され水蒸気を該雰囲気チャンバに導入する水蒸気導入手段と、前記雰囲気チャンバに接続され試験気体を該雰囲気チャンバに導入する試験気体導入手段と、前記雰囲気チャンバに対して前記水蒸気導入手段と前記試験気体導入手段との接続状態を選択切り換えする接続切換手段と、前記雰囲気チャンバと前記真空チャンバとに接続され該雰囲気チャンバ内と該真空チャンバ内とをそれぞれ独立に吸引可能な真空発生手段と、前記真空チャンバの内の圧力を検出する圧力検出手段と、を備え、前記雰囲気チャンバと前記真空チャンバとで前記試験片を挟持した状態で該雰囲気チャンバと真空チャンバの内部を真空状態とし、該真空チャンバの内部の吸引を続けながら、前記接続切換手段の選択切換により該雰囲気チャンバの内部に水蒸気または試験気体を導入し、該真空チャンバの内部圧力が定常状態になったときの該内部圧力により、水蒸気の前記試験片に対する透湿度、または試験気体の該試験片に対する気体透過度を、それぞれ切り換えて測定できるようにしたことを特徴とする透湿度・気体透過度測定装置。

IPC (1件)：

G01N15/08

FI (1件)：

G01N15/08 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

ハイバリアフイルムの欠陥検出装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-227998 出願人：仲川勤, 凸版印刷株式会社
特開昭46-002396
特開昭54-116285

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引用文献：

審査官引用 (5件)

XV. 合成高分子膜の気体透過実験法
透湿度(WVTR)兼ガス透過度(GTR)測定装置
JIS K 7126「プラスチックフィルム及びシートの気体透過度試験方法」

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