特許
J-GLOBAL ID：200903021722430967
ダイシング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-099154
公開番号（公開出願番号）：特開2009-253017
出願日： 2008年04月07日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】 個々のカーフに生じている微小な加工異常を事前に検知し、異常の状態に応じた対処を行うことでワーク加工の歩留りを削減するダイシング方法を提供すること。【解決手段】 加工中のワークW表面を撮像手段9により撮像し、撮像されたワークW表面の映像に写るチップ13の上下または左右に形成されたカーフ17に対し、制御手段8により画像処理による検査を行うことでチップ13のサイズを計測して切削状態を確認する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ワークを載置するワークテーブルと、ワークの加工を行う加工手段と、前記ワークテーブルと前記加工手段とを相対的に移動させる移動手段と、前記ワークを撮像する少なくとも1つ以上の撮像手段と、前記ワークテーブル、前記加工手段、前記移動手段、及び前記撮像手段を制御する制御手段とを備え、前記ワーク上に形成された複数のチップを個別に分割するダイシング装置において、
前記加工手段で加工中の前記ワーク表面を前記撮像手段により撮像し、撮像された前記ワーク表面の映像に写る前記チップの上下または左右に形成された複数の加工溝に対し、前記制御手段により画像処理による検査を同時に行うことで該チップのサイズ計測することを特徴とするダイシング方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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