特許
J-GLOBAL ID：200903021757788589
電子ビーム検査方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313205
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148905
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 従来の走査型の電子顕微鏡には走査速度や画像表示速度が低いという問題があり、直接写像型の電子顕微鏡には検査領域に応じて電流密度を低下させることなくビーム形状を変えることができないという問題があった。【解決手段】 線状陰極12から矩形断面を有する電子ビームを出射して試料16の検査領域1aに照射する一次光学系電子ビーム照射部11と、電子ビームを照射されて検査領域1aから発生した二次電子及び反射電子により構成される画像を所定倍率に拡大して電子ビーム検出部に結像する二次光学系写像投影光学部17と、結像された画像に基づいて検出信号を生成して出力する電子ビーム検出部11とを備えており、ここで、一次光学系電子ビーム照射部11は、試料面16の検査領域1aと略同一面積を有するように電子ビームを形成して検査領域1aに一括照射する。
請求項（抜粋）：
線状陰極から矩形断面を有する電子ビームを出射して試料の検査領域に照射する電子ビーム照射部と、前記電子ビームを照射されて前記検査領域から発生した二次電子及び反射電子により構成される画像を所定倍率に拡大して電子ビーム検出部に結像する写像投影光学部と、前記写像投影光学部により結像された前記画像に基づいて検出信号を生成して出力する前記電子ビーム検出部と、を備え、前記電子ビーム照射部は、前記試料面の検査領域と略同一面積を有するように前記電子ビームを形成して前記検査領域に一括照射することを特徴とする電子ビーム検査装置。
IPC (4件)：
G01N 23/225
, G01B 15/00
, G01R 31/302
, H01L 21/66
G01N 23/225
, G01B 15/00 B
, H01L 21/66 J
, G01R 31/28 L
