2次元光スキャナ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：菊谷公男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-005636
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207737
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】共振周波数の設計自由度を高くしかも大きな変位角度を可能としながら、コンパクト、低コストの2次元光スキャナとする。【解決手段】反射面を備えたミラー部33が第1の両持ち梁34a、34bを介して内部フレーム32に支持され、内部フレームは第2の両持ち梁35a、35bを介して外側フレーム31に支持される。第1、第2の両持ち梁は互いに直交し、第2の両持ち梁の曲げと第1の両持ち梁の捩れの共振周波数を近いものとしてある。第2の両持ち梁には磁歪膜が形成され、外部コイル39により捩れと曲げ振動を生じさせることにより、第1および第2の両持ち梁を軸としてミラー部が回動し、ミラー部の反射膜36に入射する光を2次元に走査反射する。

請求項（抜粋）：

反射面を備えたミラー部と、ミラー部を囲むとともに、第1の両持ち梁を介してミラー部を支持する内部フレームと、内部フレームを囲むとともに、前記第1の両持ち梁と交叉する方向に延びる第2の両持ち梁を介して内部フレームを支持する外側フレームと、前記第2の両持ち梁に応力を発生させるアクチュエータとを有して、該アクチュエータの駆動で前記第2の両持ち梁を捩れおよび曲げ振動させることにより、前記第1の両持ち梁および第2の両持ち梁を2軸として前記ミラー部を回動させて、ミラー部の反射面に入射する光を2次元に走査反射することを特徴とする2次元光スキャナ。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , B81B 3/00

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z , B81B 3/00

Fターム (7件)：

2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB16 , 2H045AB38 , 2H045AB73 , 2H045AB81 , 2H045BA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

レーダ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-374742 出願人：日産自動車株式会社
光スキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-004421 出願人：日本電気株式会社

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