特許

J-GLOBAL ID：200903021770802930

除振装置

発明者： 渡辺 和英 ,  金光 陽一 ,  箭野 憲一
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  鹿島建設株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172418
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077240
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 除振台床板を設置床より浮上懸架し、水平方向の比較的低周波の振動から高周波の微小振動まで除振することのできる除振装置を提供する。【構成】 除振台床板1に固定された磁性体3と設置床側に固定された浮上用電磁石4との空隙における相対変位を検出する変位センサ5と、該変位センサの信号により除振台床板を浮上させるため該電磁石を制御する制御装置9,10とからなる除振装置において、前記除振台床板に固定された磁性体の磁極面18は、設置床側に固定された浮上用電磁石の磁極面17よりも大きくして水平方向の復元力が発生しないように構成され、水平方向の前記除振台床板と設置床側との相対変位を検出する変位センサ20と、水平方向の磁気力を制御する電磁石14とを更に備え、該除振台床板と設置床との水平方向の相対変位、相対速度をフィードバックして該水平方向制御用電磁石を制御する制御装置21,22,23,24を備えた。

請求項（抜粋）：

振動を嫌う装置を搭載する除振台床板と、該除振台床板に固定された磁性体と、該磁性体の固定された除振台床板を磁気力によって非接触支持する設置床側に固定された浮上用電磁石と、該除振台床板に固定された磁性体と設置床側に固定された浮上用電磁石との空隙における相対変位を検出する変位センサと、該変位センサの信号により除振台床板を浮上させるため該電磁石を制御する制御装置とからなる除振装置において、前記除振台床板に固定された磁性体の磁極面は、設置床側に固定された浮上用電磁石の磁極面よりも大きくして水平方向の復元力が発生しないように構成され、水平方向の前記除振台床板と設置床側との相対変位を検出する変位センサと、水平方向の磁気力を制御する電磁石とを更に備え、該変位センサの信号により該除振台床板と設置床との水平方向の相対変位、相対速度をフィードバックして該水平方向制御用電磁石を制御する制御装置を備えたことを特徴とする除振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/03 ,  F16F 15/02 ,  H01J 37/26 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-203040
  
• 除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-361541   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開昭51-121356