特許
J-GLOBAL ID：200903021792695291
圧電/電歪膜型アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358308
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191645
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】低電圧駆動で電界誘起歪みの横効果による大きな屈曲変位が得られるとともに、応答性に優れ、かつ薄肉基板1の屈曲変位に悪影響を及ぼすことなく電極への配線パターンを簡略化又は不要とすることができる圧電/電歪膜型アクチュエータを提供する。【解決手段】ペロブスカイト型の結晶構造を有する導電性セラミックスからなる薄肉基板1上に、白金(Pt)又はパラジウム(Pd)を40重量%以上含有する中間層2を介して圧電/電歪膜3を積層一体化し、さらに圧電/電歪膜3上に電極膜4を積層一体化して圧電/電歪膜型アクチュエータを構成する。
請求項（抜粋）：
ペロブスカイト型の結晶構造を有する導電性セラミックスからなる薄肉基板上に、白金又はパラジウムを40重量%以上含有する中間層を介して圧電/電歪膜を積層し、該圧電/電歪膜上に電極膜を取着してなる圧電/電歪膜型アクチュエータ。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, C04B 35/495
, C04B 35/48
, H02N 2/00
H01L 41/08 L
, H02N 2/00 B
, C04B 35/00 J
, C04B 35/48 D
