特許
J-GLOBAL ID：200903021859551648
蛍光X線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319275
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160691
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 下面照射型の蛍光X線分析装置において、大小各種の試料のセットが可能で、排気に余分な時間をかけず、効率的に分析が行えるようにする。【解決手段】 第1発明では、ベース板6上で試料を覆うカバーケースとして、大型試料用の外側カバーケース7と、その内側に着脱自在に取り付けられる小型試料用の内側カバーケース8とを用意し、ベース板6には、内外各カバーケース7,8の内部にそれぞれ通じる2種の排気通路11,12を形成した。第2発明では、前記のような外側カバーケース7に排気管24を接続し、内側カバーケース8には排気通路を形成して、内外両カバーケース7,8の装着に伴い、排気通路が排気管24に連通するようにした。
請求項（抜粋）：
分析チャンバ上面にあるベース板上にカバーケースとともに載置セットされた試料に対し、その下面側から励起X線を照射するようにした蛍光X線分析装置において、大型の試料に対応するカバーケースを備え、このカバーケースの内側には小型の試料に対応する内側カバーケースが着脱自在に取り付けられ、ベース板には、内側カバーケースの内側位置に開口する内側カバーケース用の排気通路と、内外両カバーケース間の位置に開口する外側カバーケース用の排気通路とが形成されていることを特徴とする蛍光X線分析装置。
引用特許：
前のページに戻る
