特許
J-GLOBAL ID：200903021869254625
プラズマエッチング装置に於ける防着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-038674
公開番号（公開出願番号）：特開平11-236685
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】真空室内に反応生成物が付着しにくく生産効率のよいプラズマエッチング装置を提供すること、特に磁気中性線放電形式のプラズマエッチング装置に適した防着装置を提供すること【解決手段】プラズマエッチング装置の真空室1の内壁に沿って発熱面12を設ける。該発熱面は基板電極4の前方の周囲に設けることが好ましく、真空室内に設けた発熱体13に金属板14を当接させ、該金属板の表面で該発熱面を構成する。該金属板には渦電流発生防止のスリット16を形成することにより高周波電力の損失を防げる。真空室の周壁の内側に設けた誘電体製の防着円筒11の両端部の内周面を円筒形に形成した2個の金属板14a、14bで覆い、金属板を真空室内に設けた発熱体に当接させて構成した。
請求項（抜粋）：
プラズマエッチングされる基板を内部に設置した真空室に、エッチングガスの導入口と真空排気口と該エッチングガスをプラズマ化するプラズマ発生手段を設けたプラズマエッチング装置に於いて、該真空室の内壁に沿って発熱面を設けたことを特徴とするプラズマエッチング装置に於ける防着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23F 4/00 A
, H01L 21/302 B
