特許

J-GLOBAL ID：200903021889689423

パスマッチ経路型干渉計装置

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-141010
公開番号（公開出願番号）：特開2004-340901
出願日： 2003年05月19日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【目的】パスマッチ経路部に光強度調整光学系を設けることにより、被検面の反射率の違いに応じて、簡便に干渉縞のコントラストを光学的に調整できるようにする。【構成】光強度調整光学系30は、回転軸31を中心に略同心円上に配置された、光透過率が互いに異なる3つのNDフィルタのうちの1つを、選択的に切り替えてパスマッチ経路部20の第1の経路上に位置せしめることにより、第1の経路および第2の経路をそれぞれ通過する2つの光束の各光強度の比率を調整する。補償光学系40は屈折率および厚みがNDフィルタと略同一に設定された補償板を第2の経路上に挿入することにより、NDフィルタが挿入された場合と抜脱された場合とで変化する2つの経路の光路長差を補償する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源からの光束を2つの光束に分岐し、これら2つの光束を、互いの光路長差が干渉計の基準面と被検体の被検面との光学的距離の2倍に相当するように調整された2つの経路を別々に通過させた後、該2つの光束を合波して出力するパスマッチ経路部を有し、このパスマッチ経路部から出力された光束を前記基準面に照射するとともに、この基準面を透過した光束が該基準面と離間した前記被検面に照射されるようになし、該基準面で反射された光波面と該被検面で反射された光波面との干渉により生じる干渉縞に基づいて該被検面の波面情報を得るパスマッチ経路型干渉計装置において、 前記パスマッチ経路部に、前記基準面および前記被検面の各反射率に応じて、該パスマッチ経路部から出力される前記2つの光束の各光強度の比率を調整する光強度調整光学系を備えてなることを特徴とするパスマッチ経路型干渉計装置。

IPC (1件)：

G01B9/02

FI (1件)：

G01B9/02

Fターム (9件)：

2F064CC05 ,  2F064EE10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG39 ,  2F064GG40 ,  2F064GG41 ,  2F064HH08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 透明薄板測定用干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-193219   出願人：富士写真光機株式会社
• 斜入射干渉計装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-274684   出願人：富士写真光機株式会社
• 特開平4-269603
  
• 特開平4-269603