特許
J-GLOBAL ID：200903035762032027
透明薄板測定用干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193219
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023216
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【目的】 透明薄板の表面形状を測定するパスマッチ光学系を備えた干渉計において、2つの偏光板と2つの光学位相板を所定の光路位置に配し、観察系には被検面の干渉縞画像を得るために必要な2つの光束(直線偏光)のみを入射せしめることにより、コントラストの良好な干渉縞画像を簡易な構成で得る。【構成】 P偏光を透過する第1の偏光板21を光源1とハーフミラー4の間に配置して光源1からの光をP偏光に変換するとともに、パスマッチ光学系の光路中にλ/2光学位相板22を挿入して、パスマッチ光学系を迂回した光をS偏光に変換し、ハーフミラー4において、P偏光のまま直進した光束と合成する。また、基準板11と被検板12の間にλ/4光学位相板23を配置して被検面11aで反射された光をS偏光からP偏光に、もしくはP偏光からS偏光に変換する。そして、撮像カメラ14の前段にS偏光を透過する第2の偏光板24を配置してバックグラウンド光となるP偏光の透過を阻止する。
請求項（抜粋）：
光源から射出される光の可干渉距離を、透明薄板よりなる被検体の厚みの2倍に相当する距離よりも小さく設定し、該被検体に向かう前記光のうちの一部を第1の光分離手段により分離して、該一部の光を、その余の光よりも基準面と被検面との距離の2倍に相当する距離だけ大きい光路長を有するように迂回させた後、光合成手段により該その余の光と合成させるパスマッチ光学系を備え、この合成された光の、該基準面からの反射光である第1の反射光と、この基準面を透過した該合成された光の、前記被検面からの反射光である第2の反射光との光干渉により生じる干渉縞に基づき、該被検面の表面形状を測定する透明薄板測定用干渉計において、前記光源から前記第1の光分離手段に到る光路内に、前記光源からの光のうち所定の振動面を有する偏光成分のみを透過する第1の偏光手段を配置し、前記第1の光分離手段から前記光合成手段に到る、前記一部の光と前記その余の光のうちのいずれか一方の光路内にλ/2光学位相板を配置し、前記基準面が形成された基準板と前記被検体の間にλ/4光学位相板を配置し、前記光源と該基準板の間に前記第1および前記第2の反射光を観察系に導くための第2の光分離手段を配置し、この第2の光分離手段と該観察系との間に、前記一部の光による前記第1の反射光および前記その余の光による前記第2の反射光を構成する、所定の振動面を有する偏光成分のみを透過させる第2の偏光手段を配置してなることを特徴とする透明薄板測定用干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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透明薄板測定用干渉計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-196072
出願人：富士写真光機株式会社
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特開平3-195907
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