特許
J-GLOBAL ID：200903021925950141
有機EL装置の製造方法および製造装置、並びに有機EL装置、電子機器および液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-034030
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243158
出願日： 2002年02月12日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 有機EL機能層を適切に成膜することができると共に、製造におけるタクトタイムを短縮することができる有機EL装置の製造方法および製造装置、並びに有機EL装置、電子機器および液滴吐出装置を提供することを課題とする。【解決手段】 発光機能材料を導入した機能液滴吐出ヘッド8を基板Wに対し相対的に走査し、発光機能材料を選択的に吐出して基板W上の多数の画素領域に有機EL機能層をそれぞれ形成する有機EL素子の製造方法であって、走査に伴う機能液滴吐出ヘッド8の相対的な移動に後行して、着弾した発光機能材料に乾燥ガスを吹き付けるものである。
請求項（抜粋）：
発光機能材料を導入した機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、前記発光機能材料を選択的に吐出して前記基板上の多数の画素領域に有機EL機能層をそれぞれ形成する有機EL装置の製造方法であって、前記走査に伴う前記機能液滴吐出ヘッドの相対的な移動に後行して、着弾した前記発光機能材料に乾燥ガスを吹き付けることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA03
