特許

J-GLOBAL ID：200903021983562500

位置決め装置

発明者： 稲田 豊 ,  外山 正明
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113383
公開番号（公開出願番号）：特開2002-311176
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 圧電アクチュエータを備えた位置決めステージと静電容量型位置検出センサとから構成される位置決め装置において、構成部品である静電容量型位置検出センサを組み込んだセンサプローブを交換しても容易に精度調整が可能な位置決め装置を提供することを目的としている。【解決手段】 圧電アクチュエータを備えた位置決めステージと静電容量型位置検出センサとから構成される位置決め装置において、センサアンプ内あるいは位置決めステージコントローラ内に位置検出信号のゲイン及びオフセット調整部を設けて位置決め装置を構成し、万が一に静電容量型位置検出センサを組み込んだセンサプローブを交換しても容易に精度調整が可能とする。

請求項（抜粋）：

圧電アクチュエータを備えた位置決めステージと静電容量型位置検出センサとから構成される位置決め装置において、センサアンプ内あるいは位置決めステージコントローラ内に位置検出信号のゲイン及びオフセット調整部を設けることを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G12B 5/00 ,  G01B 7/00 ,  G05D 3/00 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (5件)：

G12B 5/00 ,  G01B 7/00 K ,  G05D 3/00 G ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 U

Fターム (21件)：

2F063AA02 ,  2F063BA30 ,  2F063DA05 ,  2F063HA04 ,  2F063KA01 ,  2F063ZA05 ,  2F078CA01 ,  2F078CB04 ,  5H303AA20 ,  5H303CC02 ,  5H303DD14 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303EE09 ,  5H303FF08 ,  5H303GG13 ,  5H303HH02 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303LL03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-071706
  
• マスタスレーブ運動体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-227827   出願人：日本電信電話株式会社