特許
J-GLOBAL ID：200903022011208818

半導体基板用キャリアの搬送台車

発明者：
竹井 文一

竹井 文一 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 机 昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-037998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243473
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】狭いフロアを走行し装置のステ-ション8にキャリア10を移載する半導体基板用キャリアの搬送台車において、走行の邪魔になる床面に突出するものが無く、台車本体1の小回りを効かせる。【解決手段】床面に突出させることのない位置決め機構2を設け、台車本体1の正面にステ-ション8を認識する近接スイッチ3を配置し、台車本体1を近づけ、一対の近接スイッチ3が同時に停止させ、位置決め機構2のピン5を床面の孔11に挿入し台車本体1を固定してから、キャリア10の移載を行う。
請求項（抜粋）：
複数枚の半導体基板を収納するキャリアを荷台に載せ人手により搬送台車本体を移動させ半導体製造装置あるいは検査装置に近づき停止し、前記装置のステ-ションと前記荷台との間で前記キャリアの移載を行う半導体基板用キャリアの搬送台車において、前記装置のステ-ションに前記搬送台車本体が衝突しない程度に近づいたとき前記搬送台車本体を停止させるとともに位置固定しかつ床面に設けられる位置決め機構を備えることを特徴とする半導体基板用キャリアの搬送台車。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B62B 3/00 ,  B62B 5/00 ,  B65G 49/07
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  B62B 5/00 Z ,  B65G 49/07 C ,  B62B 3/00 D
Fターム (17件)：
3D050AA11 ,  3D050AA35 ,  3D050BB05 ,  3D050DD03 ,  3D050EE08 ,  3D050EE15 ,  3D050JJ07 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA15 ,  5F031GA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031KA20 ,  5F031MA33
引用特許：
審査官引用 (3件)

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