特許
J-GLOBAL ID:200903022019446084
ガラスマスタ表面インスペクタ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
奥山 尚男 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-512427
公開番号(公開出願番号):特表平11-515109
出願日: 1997年09月05日
公開日(公表日): 1999年12月21日
要約:
【要約】ディスク状ガラスマスタの1つの平らな表面の不完全性の検出システムは、ガラスマスタを係止してガラスマスタを照明源の下方に回転して移動するセルフセンタリングチャックと、検査される表面から反射された照明源からの光を受取るビデオカメラ又はその他の装置とを有する。カメラは、検査される表面の不完全に平らな部分から反射された照明のみを受取るように配向されている。カメラが、ガラスマスタの厚さに比して短い焦点深度を有する光学装置を有する。ステッピングモータが、ガラスマスタが光源に曝されている間に少なくとも1つの完全な回転の間に複数の位置を通過してガラスマスタを回転するために使用される。次いで、ビデオカメラから受取られた信号はテンプレートアルゴリズムにより処理され、これにより受取られた光レベルが、ディスクの仮定的に平らな部分からの値と比較される。異なる半径から反射された光の間に大幅な差が検出された場合には、ディスクは拒絶される。
請求項(抜粋):
データの光学的記録のためのコンパクトディスクの生産に使用されるディスク状ガラスマスタの1つの平らな表面の不完全性の検出装置において、 前記ガラスマスタを係止するセルフセンタリングチャックを具備し、 前記ガラスマスタを透過させて前記平らな表面の1つの半径に前記光を集束する照明手段を具備し、 前記ガラスマスタから反射された前記照明手段から光を受取る検出手段を具備し、前記検出手段は、前記1つの平らな表面の不完全に平らな部分から反射された照明のみを受取るように配向され、 前記検出手段は前記光を受取る光学装置を有し、前記光学装置は前記ガラスマスタの厚さより短い焦点深度を有し、 前記照明手段からの集束された光に曝される間に少なくとも1つの完全な回転にわたり前記ガラスマスタを回転する手段を具備し、 前記検出手段により受取られた光レベルが、前記ガラスマスタ表面から受取られた先行の光レベルから求められた値を越える場合に前記ガラスマスタの拒絶を指示する拒絶指示手段を具備することを特徴とする装置。
IPC (3件):
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 7/26
FI (3件):
G01N 21/88 630 A
, G01B 11/30 D
, G11B 7/26
引用特許: