特許
J-GLOBAL ID：200903022033976851
マイクロ波放電ランプおよび当該マイクロ波放電ランプを備えたマイクロ波放電光源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-267902
公開番号（公開出願番号）：特開2007-080705
出願日： 2005年09月15日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 管壁安定型の放電が形成されることを防止して、マイクロ波放電ランプを点光源化することにより、短波長の紫外光の放射強度が低下することを防止することにより、短波長の紫外光による効果的な処理を行い得るマイクロ波放電ランプを提供することを目的とする。【解決手段】 放電コンセントレーターは、その長手方向が、共振室構成容器内に生じるマイクロ波電界の振動方向に対して略平行となるよう配置され、発光管内には、発光管内の圧力が5気圧〜20気圧の範囲となるようアルゴンガスが封入され、電磁エネルギー供給手段に投入する電磁エネルギーE(W)は、発光管内のアルゴンガスの圧力をP(気圧)としたとき、26.6P<E<60Pの関係を満たすことを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透光性材料からなり、内部に発光媒体が封入された発光管と、一端が該発光管内の発光空間に臨出した放電コンセントレーターとを備えたマイクロ波放電ランプと、前記放電コンセントレーターに放電を励起する電磁エネルギー供給手段と、電磁エネルギーを漏洩することなく、前記マイクロ波放電ランプからの光を外部へ取出す開口が設けられた、電磁エネルギー共振を生ずる共振室構成容器とを備えたマイクロ波放電光源装置において、
前記放電コンセントレーターは、その長手方向が、前記共振室構成容器内に生じるマイクロ波電界の振動方向に対して略平行となるよう配置され、
前記発光管内には、発光管内の圧力が5気圧〜20気圧の範囲となるようアルゴンガスが封入され、
前記電磁エネルギー供給手段に投入する電磁エネルギーE(W)は、前記発光管内のアルゴンガスの圧力をP(気圧)としたとき、26.6P<E<60Pの関係を満たすことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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