特許
J-GLOBAL ID：200903022054448634

ポジ型感放射線性重合体組成物、該組成物を用いた薄膜、および該薄膜を用いた素子

発明者：
三谷 清樹

三谷 清樹 について

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百瀬 恵一

百瀬 恵一 について

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佐藤 弘幸

佐藤 弘幸 について

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山廣 幹夫

山廣 幹夫 について


出願人/特許権者：
チッソ株式会社

チッソ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-170729
公開番号（公開出願番号）：特開2005-031642
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】アルカリ水溶液で現像でき、高感度、かつ高解像度の感放射線性重合体組成物であり、さらに平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性に優れたパターン状薄膜を形成できるポジ型感放射線性重合体組成物を提供すること。 【解決手段】式(1)で表される構成単位の少なくとも1種を有するビニル重合体および1,2-キノンジアジド化合物を含有するポジ型感放射線性重合体組成物。式中、R1は単結合または炭素数1〜3のアルキレンであり;R2は水素、メチルまたは塩素であり;R3は水素または炭素数1〜3のアルキルであり;Xは-COO-、-OCO-、-O-、または-S-であり;Aは式(a)または式(b)で表されるオキセタン基であり、これらの式中、R4およびR5は単結合または炭素数1〜3のアルキレンであり;R6〜R15は水素または炭素数1〜3のアルキルである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
式(1)で表される構成単位の少なくとも1種を有するビニル重合体および1,2-キノンジアジド化合物を含有するポジ型感放射線性重合体組成物。
IPC (5件)：
G03F7/023 ,  C08F12/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/023 ,  C08F12/22 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
Fターム (61件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4J100AB02R ,  4J100AB03R ,  4J100AB04R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ08Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL10R ,  4J100AM15R ,  4J100AM21R ,  4J100AM48R ,  4J100AM49Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA10R ,  4J100BA15P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA16R ,  4J100BA31R ,  4J100BA51P ,  4J100BC04R ,  4J100BC07R ,  4J100BC08R ,  4J100BC28R ,  4J100BC43R ,  4J100BC53P ,  4J100BC54R ,  4J100BC74R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (2件)

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