特許

J-GLOBAL ID：200903022058767548

基板搬送装置

発明者： 佐藤 敏 ,  富田 雅之
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263466
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082780
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【目的】基板搬送装置に於いて、真空容器内での発塵、汚染を防止し、更に装置の占有面積を小さくする。【構成】垂直面に3関節リンク構造の昇降用ロボット28を設け、該昇降用ロボットの先端に位置する昇降第3アーム33に3関節リンク構造の搬送ロボット14を設け、該搬送ロボットの先端に位置する第3節アーム18が基板19を保持可能とした基板搬送装置、更に基側に位置する前記昇降用ロボットの昇降第1アームが嵌着する回転軸を軸心方向に出入り可能とした基板搬送装置に係るものであり、回転の合成で搬送作動を行い、摺動部がないので発塵が極めて少なく、又昇降用ロボットの昇降第1アームが嵌着する回転軸を軸心方向に出入り可能とすることで搬送範囲が広がると共に搬送ロボットの水平方向の平行移動が可能となり、基板搬送装置を含むシステムの構成が簡潔となる。

請求項（抜粋）：

垂直面に3関節リンク構造の昇降用ロボットを設け、該昇降用ロボットの先端に位置する昇降第3アームに3関節リンク構造の搬送ロボットを設け、該搬送ロボットの先端に位置する第3節アームが基板を保持可能としたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-249918   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• ウェハー搬送ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-300363   出願人：日電アネルバ株式会社