排ガス処理方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲葉滋 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260080
公開番号（公開出願番号）：特開2001-079335
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】プラズマ電子エネルギー以外のパラメータに実質的な影響を与えることなく、プラズマ電子のエネルギーを制御することが可能なプラズマを用いた排ガスの分解処理を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置1を用いて排ガスを分解する方法において、プラズマ発生装置1は、プラズマ生成室2とプラズマ生成室2の外側あるいは内側または両方に設けたループ状のアンテナ4とを備えており、アンテナ4の周方向にモードを与え、モード数を変化させてプラズマ電子エネルギーを変化させることで、排ガスの分解種を制御する。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生装置を用いて排ガスを分解する方法において、該プラズマ発生装置は、プラズマ生成室と該プラズマ生成室の外側あるいは内側または両方に設けたループ状のアンテナとを備えており、該アンテナの周方向にモードを与え、モード数を変化させてプラズマ電子エネルギーを変化させることで、排ガスの分解種を制御することを特徴とする排ガスの処理方法。

IPC (2件)：

B01D 53/32 ZAB , H05H 1/46

FI (2件)：

B01D 53/32 ZAB , H05H 1/46 L

前のページに戻る