研究者
J-GLOBAL ID:200901090479263610   更新日: 2010年12月17日

進藤 春雄

シンドウ ハルオ | SHINDO Haruo
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (3件): プラズマ科学 ,  電子・電気材料工学 ,  電子デバイス・電子機器
研究キーワード (3件): プラズマ理工学 ,  半導体プロセス ,  光集積回路
競争的資金等の研究課題 (7件):
  • 1998 - 2003 負イオンプラズマによるシリコンエッチングの研究
  • 2005 - 大規模マイクロ波ラインプラズマ生成技術の研究
  • 2000 - 2004 大口径プラズマ生成技術と集積回路プロセスの研究
  • 2000 - 2005 酸素負イオンによるシリコントレンチ酸化
  • 酸素負イオンによる酸化膜形成技術
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MISC (19件):
特許 (3件):
  • プラズマ中の電子エネルギー分布の測定方法及び装置
  • シリコン基板の酸化膜形成装置及び酸化膜形成方法
  • プラズマ領域中に電子エネルギー分布の測定方法及びその測定装置
書籍 (3件):
  • 高密度プラズマ応用プロセス技術
    株式会社 リアライズ社 1993
  • 半導体研究
    工業調査会 1995
  • ヤメスターのための基礎電磁気学
    東海大学出版会 1999
Works (5件):
  • マイクロ波プラズマアッシング装置のプラズマ基礎特性の研究
    1997 -
  • ゲート電極エッチャーのプラズマ解析
    1999 -
  • 大口径エッチングプラズマに関する研究
    2000 -
  • 酸素負イオンによる酸化膜形成技術
    2001 -
  • 高誘電率セラミックを用いた高密度プラズマ発生装置の開発研究
    2004 -
学歴 (2件):
  • - 1969 秋田大学 鉱山学部 電気工学
  • - 1971 秋田大学 鉱山学研究科 電気工学
学位 (2件):
  • 工学修士 (秋田大学)
  • 工学博士 (九州大学)
経歴 (4件):
  • 1971 - 1987 広島大学工学部 助手
  • 1988 - 1991 広島大学工学部 講師
  • 1992 - 1994 福山大学工学部 助教授
  • 1994 - 東海大学工学部 教授
委員歴 (4件):
  • 1990 - 1991 応用物理学会 分科会幹事
  • 1993 - 1994 電気学会 中国支部協議員
  • 2000 - 2001 応用物理学会 分科世話人
  • 2002 - 2003 応用物理学会 講演企画委員
所属学会 (4件):
応用物理学会 ,  電気学会 ,  物理学会 ,  放電研究会
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