特許
J-GLOBAL ID:200903022066632988
物理量検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-072175
公開番号(公開出願番号):特開2004-279261
出願日: 2003年03月17日
公開日(公表日): 2004年10月07日
要約:
【課題】複数の物理量を精度良く検出可能な物理量検出装置を提供する。【解決手段】X軸方向の加速度に応じて容量が変化するセンサエレメント部10xと、Y軸方向の加速度に応じて容量が変化するセンサエレメント部10yとが、1つの半導体基板上に形成されたセンサ1を備えると共に、センサエレメント部10x,10yの各々について、そのセンサエレメント部10x,10yの容量変化を電圧に変換するC-V変換回路2x,2yと、C-V変換回路2x,2yの出力電圧Vsx,Vsyを一定時間毎にサンプルホールドして信号処理を行う信号処理回路3x,3yとを備えた加速度検出装置では、各信号処理回路3x,3y同士のサンプリングタイミングがずらして設定されている。このため、各信号処理回路3x,3yがサンプリング動作した際の他系統への影響をなくすことができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
検出対象の物理量に応じて出力電圧が変化する検出手段と、該検出手段の出力電圧を一定時間毎にサンプリングしてホールドする信号処理回路とを、複数組備えた物理量検出装置において、
前記各信号処理回路のサンプリングタイミングがずれて設定されていること、
を特徴とする物理量検出装置。
IPC (4件):
G01P15/125
, G01D3/028
, G01L9/00
, G08C13/00
FI (4件):
G01P15/125 V
, G01L9/00 305S
, G08C13/00
, G01D3/04 F
Fターム (22件):
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC60
, 2F055DD20
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055GG44
, 2F073AA21
, 2F073AB02
, 2F073AB07
, 2F073AB14
, 2F073BB04
, 2F073BC01
, 2F073CC01
, 2F073DE16
, 2F073EF09
, 2F073GG02
, 2F073GG07
, 2F075AA01
, 2F075EE08
, 2F075EE09
, 2F075EE18
引用特許: