特許
J-GLOBAL ID：200903042224406070
容量式加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-243704
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074939
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：
【要約】【課題】 容量式の加速度センサにおいて、検出感度を低下させることなく、オフセット電圧を除去する。【解決手段】 可動電極2の一方側、他方側に、第1の固定電極3、4、第2の固定電極5、6が対向配置されており、信号発生回路7によって第1の固定電極3、4と第2の固定電極5、6に交互に搬送波信号が印加される。また、第1の固定電極3、4と可動電極2間および第2の固定電極5、6と可動電極2間のそれぞれの静電容量の差が、C-V変換回路8によって加速度に対応した電圧に変換され出力される。また、オフセット補正を行うためにオフセット補正回路11が設けられており、容量の異なる複数のコンデンサ11a〜11dの中から選択されたオフセット補正用コンデンサを、接続手段11eによって固定電極3、4と可動電極2間に接続するようにしている。
請求項（抜粋）：
加速度の作用に応じて変位する可動電極(2)と、前記可動電極の一方側に対向配置された第1の固定電極(3、4)と、前記可動電極の他方側に対向配置された第2の固定電極(5、6)と、前記第1の固定電極と前記可動電極の間の第1の静電容量と、前記第2の固定電極と前記可動電極の間の第2の静電容量の差を、加速度に対応した電圧に変換するC-V変換手段(8)と、前記第1の固定電極と前記可動電極の間および前記第2の固定電極と前記可動電極の間の少なくとも一方に、オフセット電圧をキャンセルし得る容量のオフセット補正用コンデンサを接続するようにしたことを特徴とする容量式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (6件)
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加速度検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-295785
出願人：株式会社村田製作所
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力測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-269456
出願人：セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
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静電容量式加速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-003915
出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
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