ナノカーボンの製造方法及びその方法を用いて製造されたナノカーボン及びナノカーボンと金属微粒子を含む複合材料又は混合材料,ナノカーボンの製造装置、ナノカーボンのパターン化方法及びその方法を用いてパターン化されたナノカーボン基材及びそのパターン化されたナノカーボン基材を用いた電子放出源

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-044554
公開番号（公開出願番号）：特開2002-348108
出願日： 2002年02月21日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】プロセス容器等を必ずしも必要とせず、溶接用アークトーチ若しくは類似した構造を持つ装置を用いたアーク放電によって、炭素を主成分とした被アーク材を蒸発させてすすを発生させ、そのすすを基板上に坦持して電子放出源を作成するための方法を提供し、その製造装置を提供するものである。【解決手段】第1電極であるアークトーチ1のトーチ電極10と、第2電極である黒鉛板を用いた被アーク材2を対面配置する。トーチ電極10と被アーク材2端部との間に電位を印加してアーク放電を発生させ、アーク放電にさらされた被アーク材2端部の黒鉛を蒸発させてすすを発生させる。この発生したすすを、パターン化された開口部を有するマスクを介して、アーク放電領域に対面した基板の表面に被着させる。

請求項（抜粋）：

第1電極と、炭素材料を主成分とする第2電極を、大気中又は空気中で対向配置する工程と、前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加してアーク放電を発生させる工程と、前記第2電極の前記炭素材料を前記アーク放電により蒸発させてナノカーボンを含むすすを発生させる工程と、前記ナノカーボンを含むすすを回収する工程を備えたことを特徴とするナノカーボンの製造方法。

IPC (5件)：

C01B 31/02 101 , B82B 3/00 , H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04

FI (5件)：

C01B 31/02 101 F , B82B 3/00 , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 1/30 F

Fターム (18件)：

4G046CA00 , 4G046CB01 , 4G046CC06 , 5C031DD17 , 5C127AA01 , 5C127BA13 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD07 , 5C127EE02 , 5C127EE03 , 5C135AA13 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135AC01 , 5C135HH02 , 5C135HH04

引用特許：

審査官引用 (1件)

グラファイト質繊維の製造方法及びグラファイト質繊維の製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-286004 出願人：株式会社ウエキコーポレーション

引用文献：

審査官引用 (2件)

多層カーボンナノチューブ生成における雰囲気ガスの影響
最も簡単な多層カーボンナノチューブ化表面の作成法

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