特許

J-GLOBAL ID：200903022142620528

永久磁石により磁界にオフセットを付けた分析磁石を有するイオン注入装置

発明者： 岩月 俊明
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220623
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054080
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】分析磁石のアンペアターン数を少なくすることによって、装置の小型化及び低消費電力化を実現するイオン注入装置の提供。【解決手段】ビームライン2は、曲がったパイプ状をしており、磁束4が曲がりの方向と直角に横切るように電磁石5a、ステー5b、永久磁石5cで構成される磁気回路5の中に設置され、電磁石5aは、電流の方向・大きさを制御可能な電源により電流を供給され、永久磁石5cが磁束4aを発生する。この磁束4aと所望する磁束4の差の磁束4bを発生するように電磁石5aに電流を供給する。

請求項（抜粋）：

ビームラインに対してある一つの向きに磁束を通し、該ビームラインを通過するイオンの軌道の曲率半径が、イオンの重さ、価数、及びエネルギーと磁束の密度の関数により与えられることを利用して、磁気回路中の電磁石により任意の磁束を発生させ、ある特定の重さ、価数、エネルギーのイオンを選択する分析磁石を有することを特徴とするイオン注入装置。

IPC (4件)：

H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/05 ,  H01L 21/265

FI (4件)：

H01J 37/317 Z ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 37/05 ,  H01L 21/265 603 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• イオン注入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-128372   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭53-019090
  
• 特開昭63-131448
  
• 特公昭62-009976