塗布装置、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川▲崎▼ 研二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-055073
公開番号（公開出願番号）：特開2005-238188
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】いわゆるスピンレスコータ型の塗布装置によって塗布された塗布膜の膜厚ムラを検出する。【解決手段】 y方向に延在する吐出口104aから塗布液106を吐出しながら、x方向に移動する吐出ヘッド104と、基板102の対向面に形成された塗布膜108の厚さを、y方向に沿って測定する膜厚測定器109と、y方向に対する塗布膜の厚さ特性が厚さ平均値に対してすべて所定範囲内に収まっているか否かを判別する判別器110と、収まっていない部分があると判別されたときに、警報を発する警報器111とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一方向に延在する吐出口から塗布液を、前記吐出口と対向する基板の対向面に吐出しながら、前記対向面に対し前記一方向と交差する方向に相対移動する吐出ヘッドと、前記対向面に形成された塗布膜において前記一方向に対する厚さムラが、予め定められた条件を満たすか否かを判別する判別手段と、前記判別手段によって前記条件を満たさないと判別された場合に、所定の処理を実行する処理手段とを具備することを特徴とする塗布装置。

IPC (9件)：

B05C5/02 , B05C11/00 , B05D1/26 , B05D3/00 , G02B5/20 , G03F7/16 , H01L21/027 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (10件)：

B05C5/02 , B05C11/00 , B05D1/26 Z , B05D3/00 D , G02B5/20 101 , G03F7/16 502 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/14 Z , H01L21/30 564Z

Fターム (38件)：

2H025AB13 , 2H025EA04 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BA64 , 2H048BB42 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 4D075AC02 , 4D075AC88 , 4D075AC92 , 4D075CB07 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA45 , 4D075EC11 , 4D075EC17 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA56 , 4F041CA02 , 4F041CA22 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA10 , 4F042AB00 , 4F042BA25 , 4F042DH09 , 5F046JA21 , 5F046JA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

液状物質塗布ノズルおよびこれを用いた液状物質塗布装置並びにこの装置を利用したTFTアレイ基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-336929 出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ

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