特許

J-GLOBAL ID：200903022153326680

透過型電子顕微鏡から利用可能な測定情報を増加させる方法および透過型電子検鏡装置

発明者： オリン、ホカン
出願人/特許権者： ナノファクトリィ インストルメンツ アクチボラゲット
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-562128
公開番号（公開出願番号）：特表2003-524287
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】本発明は、透過型電子顕微鏡から利用可能な測定サンプルに関わる測定情報を増加させる方法に関するものであって、前記透過型電子顕微鏡内に原子力検鏡装置を含ませるステップを含む。本発明はまた、透過型電子顕微鏡を、該透過型電子顕微鏡内に配置する原子力検鏡と組み合わせることを特徴とする透過型電子検鏡装置にも関する。最後に、本発明は、原子力検鏡装置を含むことを特徴とする、透過型電子顕微鏡内挿入用の装置に関する。

請求項（抜粋）：

透過型電子顕微鏡から利用可能な、測定サンプルに関する測定情報を増加するための方法であって、 前記透過型電子顕微鏡内に原子力(atomic force)検鏡装置(4)を含ませるステップを含む方法。

IPC (6件)：

H01J 37/26 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/16 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (7件)：

H01J 37/26 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/16 A ,  G01N 13/16 C ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/28 X

Fターム (22件)：

2F069AA60 ,  2F069DD20 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG08 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32 ,  2F069QQ05 ,  2F069RR03 ,  5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC08 ,  5C033SS02 ,  5C033SS10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査プローブ顕微鏡及びその制御誤差の補正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276658   出願人：株式会社日立製作所, 日立建機株式会社
• 特開平4-047654
  
• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-267059   出願人：日本電子株式会社, 日本電子エンジニアリング株式会社