特許
J-GLOBAL ID：200903022159246166
ペリクルフレーム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人中川国際特許事務所
, 中川 裕幸
, 大石 裕司
, 岩田 啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-345102
公開番号（公開出願番号）：特開2008-158116
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】 ペリクル製造後、ペリクルをマスクに粘着するまでの間、移送の際には、しっかりと収納容器に固定され、移送後の収納容器から取り出す際には容易に固定を解消することが可能で、かつ、マスクへの粘着の際には位置決めのために繰り返し貼り付け、取り外しが可能であり、かつ、位置決めが完了した後は、しっかりとマスクに粘着固定されるようなペリクルフレームを提供する。【解決手段】 ペリクルフレーム1のマスク粘着面4の内側及び外側に粘着材2,3が配置されており、該粘着材2,3の少なくとも一方が、弾性率400kg/cm2〜900kg/cm2、粘性係数10000kg・s/cm2〜110000kg・s/cm2であることを特徴とする、マスク粘着面4に粘着材2,3が配置されたペリクルフレーム1である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスク粘着面に粘着材が配置されたペリクルフレームであって、前記ペリクルフレームのマスク粘着面の内側及び外側に粘着材が配置されており、該内側及び外側の粘着材の少なくとも一方が、弾性率400kg/cm2〜900kg/cm2、粘性係数10000kg・s/cm2〜110000kg・s/cm2であることを特徴とするペリクルフレーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 K
, H01L21/30 502P
