特許

J-GLOBAL ID：200903032769205149

大型ペリクル、ペリクル搬送方法、ペリクルケース及びペリクル移載装置

発明者： 飛田 敦
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-355249
公開番号（公開出願番号）：特開2006-163035
出願日： 2004年12月08日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】 大型ペリクルを簡便な作業で高品質な状態で装着できる手法を提供するものであり、そのための大型ペリクル、大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルを収納するペリクルケース、大型ペリクルの移載装置を提供する。【解決手段】 ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面を少なくとも2つの領域に分け、それぞれの領域に前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第1の粘着面と、該第1の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第2の粘着面とを形成したことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面を少なくとも2つの領域に分け、それぞれの領域に前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第1の粘着面と、該第1の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第2の粘着面とを形成したことを特徴とする大型ペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F1/14 J ,  H01L21/30 502P

Fターム (3件)：

2H095BC36 ,  2H095BC38 ,  2H095BC39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3390882号公報
  

審査官引用 (4件)

• 特許第3390882号
  
• リソグラフィー用ペリクル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-029239   出願人：信越化学工業株式会社
• ペリクル貼付部分を有するマスク及びその固定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-089057   出願人：沖電気工業株式会社
• 大型ペリクルの搬送方法、搬送用治具及びペリクルケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-355288   出願人：大日本印刷株式会社