特許

J-GLOBAL ID：200903022179548487

高圧アニール装置

発明者： 中本 一朗
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 島村 芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317106
公開番号（公開出願番号）：特開平11-152567
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルームへの汚染を防止するとともに、圧力装置を小型化し、コストの低減を図る。【解決手段】 ガラス基板等に成膜したシリコン膜を加熱して特性を改善するための高圧アニール装置1であって、ステンレス製の上部圧力容器2aと下部圧力容器2bとから成る外部圧力容器2と、石英製の上部内部容器3aと下部内部容器3bとから成る内部容器3と、外部圧力容器2と内部容器3との間に設けた加熱装置4とを有し、上部圧力容器2aと下部圧力容器2bの接続は、該容器2a,2bの接続部に設けたフランジ2e,2f同志を挟持するように外嵌した接続装置5により行い、上部内部容器3aと下部内部容器3bの接続は、該容器3a,3bの接続部に設けたフランジ3c,3d同志を、下部内部容器3bの下部に設けた膨張室6を加圧することにより下部内部容器3bを押し上げ当接して行うようにした。

請求項（抜粋）：

ガラス基板等に成膜したシリコン膜を加熱して特性を改善するための高圧アニール装置であって、ステンレス製の上部圧力容器と下部圧力容器とから成る外部圧力容器と、石英製の上部内部容器と下部内部容器とから成る内部容器と、外部圧力容器と内部容器との間に設けた加熱装置とを有し、上部圧力容器と下部圧力容器の接続は、該容器の接続部に設けたフランジ同志を挟持するように外嵌した接続装置により行い、上部内部容器と下部内部容器の接続は、該容器の接続部に設けたフランジ同志を、下部内部容器の下部に設けた膨張室を加圧することにより下部内部容器を押し上げ当接して行うようにしたことを特徴とする高圧アニール装置。

IPC (2件)：

C23C 14/58 ,  H01L 21/324

FI (2件)：

C23C 14/58 A ,  H01L 21/324 G

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-289254
  
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-352856   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 圧力制御方法及び反応処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057484   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開平1-110722
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-289254
  
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-352856   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 圧力制御方法及び反応処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057484   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開平1-110722