特許
J-GLOBAL ID：200903022244317820
サーモパイル型赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-126028
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308551
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 センサ感度を低下させることなく、応答速度を速めて高速移動する対象物にも十分に対応する高速応答性が得られるサーモパイル型赤外線センサを提供する。 【解決手段】 シリコン基板2中央部の受光領域6内に平面視細長形状の薄膜部4を形成し、この薄膜部4の長辺4a,4aに沿って複数対のサーモカップル5を、それらの各温接点5hが薄膜部4上に位置し、かつ、各冷接点5cを受光領域6外のシリコン基板2上に位置する状態に配置するとともに、それら複数対のサーモカップル5を直列に接続して構成している。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板の中央部の受光領域内に形成された薄膜部に、複数対の熱電対が、それらの各温接点を前記薄膜部上に位置させ、かつ、各冷接点を前記受光領域外の半導体基板上に位置させる状態で直列に接続して設けられているサーモパイル型赤外線センサにおいて、
前記薄膜部は、隣接する二辺のうち一方の辺が他方の辺より長い細長形状に形成され、この細長形状の薄膜部の長辺に沿って複数対の熱電対が配置されていることを特徴とするサーモパイル型赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J1/02
, G01J5/02
, G01V8/12
G01J1/02 C
, G01J5/02 B
, G01V9/04 G
2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA14
, 2G065BA32
, 2G065DA20
, 2G066AC05
, 2G066AC09
, 2G066AC13
, 2G066BA08
, 2G066CA01
, 2G066CA04
, 2G066CA08
