特許

J-GLOBAL ID：200903022254736448

イオン注入装置

発明者： 齋藤 尚
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075106
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273584
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】イオンビーム電流とは逆方向に流れる逆電流によるイオン注入量の誤差を無くする。【構成】イオンビームを検出する検出部1に、イオンビーム電流を測定するイオンビーム電流測定部2と、イオンビームとは逆方向に流れる逆電流を測定する逆電流測定部3が接続され、操作されたイオンビームが、マスク部4の通過エリア6から外れ、検出部1に到達しない状態となったある特定の位置で、検知部1に流れる逆電流を測定し、イオン注入量を自動的に補正する。

請求項（抜粋）：

イオン注入量の検出系を備えるイオン注入装置において、イオンビーム電流のみを測定するイオンビーム電流測定部と、イオンビーム電流とは逆方向の電流を測定する逆電流測定部と、前記イオンビーム電流測定部で測定した電流を一定走査範囲内で積算するイオン注入量算出部と、前記逆電流測定部で測定した逆電流を一定走査範囲内で積算するイオン注入誤差量算出部と、前記イオン注入量算出部の注入量から前記イオン注入誤差量算出部の誤差量を差し引いて正しいイオン注入量を求めるイオン注入量補正部とを有することを特徴とするイオン注入装置。

IPC (4件)：

H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/04 ,  H01L 21/265

FI (5件)：

H01J 37/317 C ,  C23C 14/48 B ,  H01J 37/04 A ,  H01L 21/265 D ,  H01L 21/265 T

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ビーム電流測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-200509   出願人：日新電機株式会社