特許

J-GLOBAL ID：200903083932057679

ビーム電流測定装置

発明者： 熊崎 裕教
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200509
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057671
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【構成】 ビーム電流を増幅回路1により電圧に変換してA/D変換器2でディジタル信号に変換する。このディジタル信号は、ビーム電流の瞬時値を表す電流値瞬時データである。次いで、電流値瞬時データを積算器3で積算して電流値積算データを得る。この電流値積算データは、ビーム電流を時間的に積算したもの(一定時間内に流入した電荷量の総和)である。さらに、減算器4にて電流値積算データからノイズデータを減算する。このノイズデータは、ビーム電流がない状態でビーム電流と同様にして交流および直流の全てのノイズ成分について測定されたものである。したがって、電流値積算データは、減算によりノイズ成分による誤差を含まない正確なものとなる。【効果】 ノイズ成分の影響を受けることなく高精度にビーム電流の測定を行なうことができる。

請求項（抜粋）：

ビーム電流を電圧に変換する電流/電圧変換手段と、電流/電圧変換手段の出力をディジタル信号に変換するアナログ/ディジタル変換手段と、アナログ/ディジタル変換手段の出力を積算してビーム電流の値に応じた電流値積算データを算出する積算手段と、電流値積算データからビーム電流と同様にして測定されるノイズ成分の値に応じたノイズデータを減算するノイズ減算手段とを備えていることを特徴とするビーム電流測定装置。

IPC (2件)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/317

引用特許：

審査官引用 (1件)

• イオン注入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-208091   出願人：日新電機株式会社