特許

J-GLOBAL ID：200903022255177655

透明導電膜付き基板とその製造方法

発明者： 松井 雄志 ,  後藤 芳夫 ,  山本 雄一 ,  竹田 諭司
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-338847
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210144
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】低抵抗で、透明性、耐熱性に優れ、アナログ式タッチパネル用電極に好適な透明導電膜付き基板の提供。【解決手段】透明絶縁基板に、シート抵抗値が0.2〜3kΩ/□、大気中、500°Cに加熱した前後のシート抵抗値の変化率が30%以下の結晶性透明導電性酸化スズ膜を形成した、可視光線透過率が85%以上である透明導電膜付き基板。

請求項（抜粋）：

透明絶縁基板上に、シート抵抗値が200Ω/□〜3kΩ/□で、大気中、500°Cに加熱した前後に測定したシート抵抗値の変化率が30%以下である結晶性の透明導電性酸化スズ膜を有し、可視光線透過率が85%以上であることを特徴とする透明導電膜付き基板。

IPC (8件)：

H01B 5/14 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503 ,  H01C 7/00 ,  H01C 17/14 ,  H01L 31/04

FI (8件)：

H01B 5/14 A ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503 B ,  H01C 7/00 D ,  H01C 17/14 ,  H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 透明導電性薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-083009   出願人：旭硝子株式会社
• 特開平2-168507
  
• 特開平2-265113
  
• 特開平3-271135