特許
J-GLOBAL ID：200903022256427396
搬送システム及び処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-108577
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288995
出願日： 1998年04月04日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 ダブルアームタイプの搬送機構の場合には、LCD用基板等の被処理体の搬送時間を短縮することができる反面、上下二段のアームと各アームを個別に駆動する駆動機構が必要であるため、搬送室のスペースが大きくなると共に搬送機構の駆動機構が複雑になってコスト高になり、しかも各アームの動作のタイミングを取ることが難しく、信頼性に劣る。【解決手段】 本発明の搬送システムは、減圧下でLCD用基板1に所定の処理を施す処理室2内の載置台7に付設されたLCD用基板1の受け渡し機構9と、LCD用基板1を搬送する搬送機構10とを備えた搬送システム8において、受け渡し機構9は、載置台7の上方で処理前後のLCD用基板1を受け渡す昇降可能な4箇所の第1受け渡し部材9Aと、これよりも高い位置で処理前後のLCD用基板1を受け渡す昇降可能な4箇所の第2受け渡し部材9Bとを有し、また、搬送機構10は、第1受け渡し部材9Aの受け渡し位置と第2受け渡し部材9Bの受け渡し位置との間で昇降するシングルアーム10Bを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
減圧下で被処理体に所定の処理を施す処理室内の載置台に付設された上記被処理体の受け渡し機構と、この受け渡し機構まで上記被処理体を搬送して上記被処理体を遣取りし且つ上記処理室に対して連通、遮断可能に連結された搬送室内に配設された搬送機構とを備えた搬送システムにおいて、上記受け渡し機構は、上記載置台の上方で処理前後の被処理体を受け渡す昇降可能な複数の第1受け渡し部材と、第1受け渡し部材よりも高い位置で処理前後の被処理体を受け渡す昇降可能な複数の第2受け渡し部材とを有し、また、上記搬送機構は、少なくとも第1、第2受け渡し部材それぞれの受け渡し位置間で昇降するシングルアームを有することを特徴とする搬送システム。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 49/04
, C23C 16/44
, C23C 16/50
, G02F 1/13 101
H01L 21/68 A
, B65G 49/04 H
, C23C 16/44 F
, C23C 16/50
, G02F 1/13 101
