特許
J-GLOBAL ID:200903022265189422
熱分解窒化ほう素容器及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 亮一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-280003
公開番号(公開出願番号):特開平9-118591
出願日: 1995年10月27日
公開日(公表日): 1997年05月06日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 III-V族化合物半導体単結晶の製造に最適とされる熱分解窒化ほう素容器を提供する。【解決手段】 本発明の熱分解窒化ほう素容器は、厚さ1mmでの、波数 3,700cm-1から 6,500cm-1における光の透過率が10%以上であること、または厚さ1mmでの、波数 3,700cm-1から 6,500cm-1における吸光度が1以下であることを特徴とするものである。
請求項(抜粋):
厚さ1mmでの、波数 3,700cm-1から 6,500cm-1における光の透過率が10%以上であることを特徴とする熱分解窒化ほう素容器。
IPC (5件):
C30B 27/02
, C04B 35/583
, C30B 15/10
, C30B 29/40 501
, H01L 21/208
FI (5件):
C30B 27/02
, C30B 15/10
, C30B 29/40 501 A
, H01L 21/208 P
, C04B 35/58 103 Y
引用特許:
審査官引用 (2件)
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熱分解窒化ほう素容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-152016
出願人:信越化学工業株式会社
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特開昭61-236685
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