特許
J-GLOBAL ID：200903022278022250
強誘電体素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149520
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343612
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 強誘電体が2つの電極によって挟まれた構造を有する強誘電体素子において、疲労特性と2つの電極間の絶縁耐圧を向上させる。【構成】 少なくとも一方の電極の周辺部分と、強誘電体膜205との間に、常誘電体層204を積層する。また、前記常誘電体層の厚みを、前記電極の周辺部分から中心部に向かって、連続的に小さくする。【効果】 電極周辺部での電界集中が緩和される。
請求項（抜粋）：
強誘電体を基質とする薄膜が2つの電極によって挟まれた構造を有する強誘電体素子において、前記電極のうち少なくとも一方の電極の、少なくとも周辺部分と前記強誘電体を基質とする薄膜との間に、常誘電体層を有することを特徴とする強誘電体素子。
引用特許：
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