特許
J-GLOBAL ID：200903022319110576
成膜治具及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-054971
公開番号（公開出願番号）：特開2007-231377
出願日： 2006年03月01日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】蒸着炉やスパッタ炉中において成膜対象物となる光学部品を保持するための成膜治具を精度確保が難しい切削加工以外の方法によって製造することにより高い寸法精度の確保を可能とした成膜治具を提供する。【解決手段】成膜面20aを露出させた状態で成膜対象物20を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具1であって、成膜対象物を保持する凹所3、及び該所底部に設けられて成膜面を露出させる開口部4を有した治具本体2と、治具本体から側方へ突設されて試料台によって係止される被係止突起5と、から構成され、治具本体、及び該治具本体と一体の被係止突起は、凹所、及び開口部に対応する穴3a、4aを夫々有した複数枚の金属薄板10を積層一体化することによって構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
成膜面を露出させた状態で成膜対象物を保持するための構造を有すると共に、真空炉内に設けた試料台に対して着脱自在に装着される金属製成膜治具であって、
前記成膜対象物を保持する凹所、及び該凹所底部に貫通形成されて前記成膜面を露出させる開口部を有した治具本体と、
前記治具本体から側方へ突設されて前記試料台によって係止される被係止突起と、から構成され、
前記治具本体、及び前記被係止突起は、前記凹所、及び前記開口部に対応する穴を夫々有した複数枚の金属薄板を積層一体化することによって構成されていることを特徴とする成膜治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/24 J
, C23C14/50 F
4K029AA09
, 4K029AA21
, 4K029CA01
, 4K029JA01
