特許
J-GLOBAL ID：200903062339152110

ガラス製光学素子の製造方法及びそれに用いる固定治具

発明者：
加賀 嗣朗

加賀 嗣朗 について

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田代 昌玄

田代 昌玄 について

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舘村 満幸

舘村 満幸 について

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川上 正人

川上 正人 について

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赤川 英幸

赤川 英幸 について


出願人/特許権者：
日本真空光学株式会社

日本真空光学株式会社 について


代理人 (1件)： 大城 重信 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-386811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192390
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 スパッタ作用時にガラス基材と固定治具の材質の違いに起因した誘起電位の不均一さを解消して、膜厚が均一な誘電体多層膜の形成を可能にするガラス製光学素子の製造方法及びガラス製光学素子の製造用固定治具を提供する。【解決手段】 ガラス基板4を電極2上に固定する固定治具3は、ガラス基板4と同じ絶縁性を有する材質で形成されるので、電極2が固定治具3とガラス基板4との周りに作る誘起電位の等電位面はフラット化される。従って、ガラス基板4に形成される蒸着層へのイオン衝撃によるスパッタ作用のバラツキが回避でき、誘電体多層膜の膜厚ムラを回避することができる。その結果、ガラス基材4の全面に渡って光学特性が良好であり、且つ膜厚ムラの少ない良質な誘電体多層膜を形成することができる。
請求項（抜粋）：
電極上に保持されたガラス基材上の誘電体膜に前記電極に引き寄せられるイオンを衝突させることで前記ガラス基材上に誘電体多層膜を形成するガラス製光学素子の製造方法において、前記ガラス基材を絶縁性の固定治具によって電極上に固定することを特徴とするガラス製光学素子の製造方法。
IPC (3件)：
C03C 17/245 ,  C23C 14/50 ,  G02B 5/28
FI (3件)：
C03C 17/245 A ,  C23C 14/50 D ,  G02B 5/28
Fターム (18件)：
2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  4G059AA08 ,  4G059AB19 ,  4G059AC30 ,  4G059EA01 ,  4G059EB04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA03 ,  4K029JA06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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