特許
J-GLOBAL ID:200903022423501030

ガラスディスク研磨装置およびガラスディスク研磨方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福田 武通 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-186450
公開番号(公開出願番号):特開平11-028649
出願日: 1997年07月11日
公開日(公表日): 1999年02月02日
要約:
【要約】【課題】 ガラスディスクの外周面加工を効率よく、また低い設備コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まりも向上させる。【解決手段】 この発明のガラスディスク研磨装置は、ガラスディスク20aを積層してセッティング可能でかつその積層ガラスディスク20を軸回りに回転可能なワークセッティング部2と、積層ガラスディスク20の積層方向とは軸が平行で、かつ積層ガラスディスク20の外周面に臨むように配置した研磨ブラシ3と、研磨ブラシ3を軸回りに回転させるブラシ回転駆動部4と、研磨ブラシ3を軸方向に往復動させるブラシ往復動駆動部5と、ワークセッティング部2で積層ガラスディスク20を回転させるとともに、研磨ブラシ3を往復動させつつ回転させ、その研磨ブラシ3で積層ガラスディスク20の外周面を研磨するようにした。
請求項(抜粋):
ガラスディスクの外周面を研磨するガラスディスク研磨装置において、上記ガラスディスクを積層してセッティング可能でかつその積層したガラスディスクを軸回りに回転可能なワークセッティング部と、上記ワークセッティング部に積層したガラスディスクの積層方向とは軸が平行で、かつ上記積層ガラスディスクの外周面に臨むように配置した円柱状もしくは円筒状の研磨ブラシと、上記研磨ブラシを軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、上記研磨ブラシを軸方向に往復動させるブラシ往復動駆動部と、を有し、上記ワークセッティング部で積層ガラスディスクを回転させるとともに、上記研磨ブラシを往復動させつつ上記積層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させ、その研磨ブラシで積層ガラスディスクの外周面を研磨するようにした、ことを特徴とするガラスディスク研磨装置。
IPC (2件):
B24B 9/08 ,  B24B 9/00 601
FI (2件):
B24B 9/08 C ,  B24B 9/00 601 G
引用特許:
審査官引用 (2件)

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