特許
J-GLOBAL ID：200903022452805234
拡散シミュレーション方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031184
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232074
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 ニュートン法の反復過程で非物理的な負の拡散種密度が発生するのを防止することができる、これにより、ニュートン法の収束性が向上する拡散シミュレーション方法を提供する。【解決手段】 拡散種Aの拡散定数DAが拡散種密度CAに依存して変化し、かつ∂DA/∂CAが正であるような物理方程式を、ニュートン法を用いて数値的に解く。この場合に、メッシュ枝両端のメッシュ点のうち、CAが小さいメッシュ点の∂DA/∂CAの値を実際の値より弱めて評価することにより、ヤコビアンを構成する。
請求項（抜粋）：
半導体膜又は半導体基板に導入した不純物の機能をシミュレートする方法において、拡散種Aの拡散定数DAが拡散種密度CAに依存して変化し、かつ∂DA/∂CAが正であるような物理方程式を、ニュートン法を用いて数値的に解く際に、メッシュ枝両端のメッシュ点のうち、CAが小さいメッシュ点の∂DA/∂CAの値を実際の値より弱めて評価することにより、ヤコビアンを構成することを特徴とする拡散シミュレーション方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/22 Z
, H01L 21/00
