特許
J-GLOBAL ID：200903022463193117
炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268741
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 サイズの揃った炭素クラスターイオンを効率よく生成させるとともに、小型で消費電力の小さい炭素クラスターイオン生成装置及び炭素クラスターイオン生成方法を提供する。【解決手段】 炭素原子クラスターイオン源を真空チャンバー7にセットし、真空チャンバー7を真空排気した後、加熱装置1に通電し、カーボンナノチューブ2を加熱し、加速電圧+E1 と引出電圧-E2 を調節してナノチューブ2を構成する炭素原子をクラスターの状態で電界蒸発させる。その時、電界蒸発した炭素原子クラスターは既にイオン化しており、真空中に放出される。これまでに、サイズの揃った炭素原子クラスターイオン(特にC20)を効率よく生成し、炭素原子以外の不純物イオンの生成が抑えられることが確認されている。
請求項（抜粋）：
炭素原子クラスターイオン生成装置において、(a)電気的に絶縁された加熱装置と、(b)該加熱装置によって真空雰囲気で加熱されるカーボンナノチューブと、(c)引出電極とを備え、(d)前記カーボンナノチューブに所望の正の加速電圧を印加し、前記引出電極に負の電圧を印加し、炭素原子がクラスターの状態で電界蒸発して、該電界蒸発した炭素原子クラスターは、イオン化され、イオンビームとして真空中に放出されるように構成したことを特徴とする炭素原子クラスターイオン生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
5C030DF01
, 5C030DF02
, 5C030DG03
