特許

J-GLOBAL ID：200903022507697258

界面オゾンアシスト方式化学蒸着を利用した膜の修正および気孔寸法の削減

発明者： マッケンリー・ジェイムズ・エー ,  デックマン・ハリー・ダブリュー ,  コーコラン・エドワード・ダブリュー・ジュニア ,  ライ・フランク・ダブリュー ,  ウィツケ・ホルスト
出願人/特許権者： エクソン リサーチ アンド エンジニアリング カンパニー
代理人 (1件)： 池浦 敏明 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-504397
公開番号（公開出願番号）：特表平10-502573
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】本発明は、内部にアパーチャを有する物品の、選択透過性を強化し、欠陥およびピンホールを選択的に封じ込め、制御可能に気孔寸法を変更し、また選択透過性を安定化する方法に関する。本発明は、第1および第2の表面を有する物品を、該第1の表面でオゾンと、また該第2の表面で金属化合物と、同時に接触させる工程を有し、該第1および第2の表面は、該表面を介してオゾンおよび金属化合物を通過させることができ、かつ該第1および第2の表面は、該金属化合物およびオゾンが該第1および第2の表面を横切って反応できるような向きをとると共に、該接触は、該オゾンと該金属化合物とが金属酸化物を形成するのに十分な時間、温度、および圧力で行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部にアパーチャを有する物品の、選択透過性を強化し、欠陥およびピンホールを選択的に封じ込め、制御可能に気孔寸法を変更し、また選択透過性を安定化する方法であって、 第1および第2の表面を有する物品を、前記第1の表面でオゾンと、また前記第2の表面で金属化合物と、同時に接触させる工程を有し、前記第1および第2の表面は、前記表面を介してオゾンおよび金属化合物を通過させることができ、かつ前記第1および第2の表面は、前記金属化合物およびオゾンが前記第1および第2の表面を横切って反応できるような向きをとると共に、前記接触は、前記オゾンと前記金属化合物とが金属酸化物を形成するのに十分な時間、温度、および圧力で行うことを特徴とする方法。

IPC (4件)：

B01D 67/00 ,  B01D 65/10 ,  B05D 7/14 ,  B05D 7/24 302

FI (4件)：

B01D 67/00 ,  B01D 65/10 ,  B05D 7/14 S ,  B05D 7/24 302 Y

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 有機金属化学蒸気浸透による無機膜の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-348217   出願人：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
• ガス分離体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-268892   出願人：日本碍子株式会社
• 特開平4-104822