特許

J-GLOBAL ID：200903022522231753

圧電振動片および圧電デバイス

発明者： 棚谷 英雄 ,  山田 祥之
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-285069
公開番号（公開出願番号）：特開2007-096900
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】極端な温度変化にさらされたことによる接合部の応力変化によっても、大きな周波数変動を生じにくい温度に対する信頼性に優れた圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部51と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕35,36と、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム61,62と、パッケージ57などの基体側への接合部として、前記支持用アームの基端付近に第1の接合部75,75と、該基端付近よりも先端側に第2の接合部76,76とを備え、前記支持用アームの前記第1の接合部と、前記基部との間に、前記圧電材料を幅方向に縮幅して形成した切り込み部71を有する圧電振動片である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

圧電材料により形成された所定長さの基部と、 前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、 前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アームと、 パッケージなどの基体側への接合部として、前記支持用アームの基端付近に第1の接合部と、該基端付近よりも先端側に第2の接合部とを備え、 前記支持用アームの前記第1の接合部と、前記基部との間に、前記圧電材料を幅方向に縮幅して形成した切り込み部を有する ことを特徴とする圧電振動片。

IPC (5件)：

H03H 9/215 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H03H9/215 ,  H03H9/19 J ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (15件)：

5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108KK06 ,  5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動片、振動子、発振器及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-392904   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-155107   出願人：リバーエレテック株式会社