特許

J-GLOBAL ID：200903022526475924

能動除振装置

発明者： 前田 孝 ,  岩井 功 ,  涌井 伸二 ,  柳澤 通雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-208227
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021190
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 床振動フィードフォワード制御を行う能動除振装置において、除振性能を向上する。【解決手段】 除振台と、該除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータと、前記除振台の基準位置に対する変位量を検出する変位検出手段と、前記除振台の振動を計測する振動計測手段と、前記除振台を設置する床の振動を計測する速度センサと、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記変位検出手段の出力信号POの差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする第1の補償器7と、前記振動計測手段の出力信号AS,VSを補償して前記アクチュエータにフィードバックする第2の補償器9,12と、前記速度センサの出力信号FVSに基づく速度信号を補償して前記アクチュエータにフィードフォワードする第3の補償器20とを備える。

請求項（抜粋）：

除振台と、該除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータと、前記除振台の基準位置に対する変位量を検出する変位検出手段と、前記除振台の振動を計測する振動計測手段と、前記除振台を設置する床の振動を計測する速度センサと、前記除振台の基準位置に対する変位量の目標値と前記変位検出手段の出力信号の差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする第1の補償器と、前記振動計測手段の出力信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする第2の補償器と、前記速度センサの出力信号に基づく速度信号を補償して前記アクチュエータにフィードフォワードする第3の補償器とを備えたことを特徴とする能動除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (8件)：

3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048AD03 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046DA30 ,  5F046DB14