特許
J-GLOBAL ID:200903022535015960

電気光学素子及び走査型光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-045120
公開番号(公開出願番号):特開2008-209568
出願日: 2007年02月26日
公開日(公表日): 2008年09月11日
要約:
【課題】高速で、大きな偏角を得ることができるとともに、小型、かつ、コストを抑えた電気光学素子及び走査型光学装置を提供すること。【解決手段】複屈折性を有するとともに、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が変化し入射されたレーザ光を走査する電気光学結晶13と、該電気光学結晶13の複屈折性を変化させるための電圧を印加させる強度変調用電極11a,11bと、電気光学結晶13の屈折率分布を変化させるための電圧を印加させる走査用電極12a,12bと、電気光学結晶13のレーザ光の入射端面及13a及び射出端面13bのうち少なくとも射出端面13b側に設けられ、電気光学結晶13から射出される光のうち特定の振動方向の光を選択的に透過させる偏光選択部材15とを備えることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複屈折性を有するとともに、内部に生じる電界の大きさに応じて屈折率分布が生じる電気光学結晶と、 該電気光学結晶の複屈折性を変化させるための電圧を印加させる強度変調用電極と、 前記電気光学結晶の屈折率分布を変化させるための電圧を印加させる走査用電極と、 前記電気光学結晶のレーザ光の入射端面及び射出端面のうち少なくとも前記射出端面側に設けられ、前記電気光学結晶から射出される光のうち特定の振動方向の光を選択的に透過させる偏光選択部材とを備えることを特徴とする電気光学素子。
IPC (3件):
G02F 1/29 ,  G02F 1/03 ,  G03B 21/00
FI (3件):
G02F1/29 ,  G02F1/03 505 ,  G03B21/00 Z
Fターム (28件):
2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA21 ,  2H079DA03 ,  2H079EA11 ,  2H079KA05 ,  2H079KA09 ,  2H079KA20 ,  2K002AA07 ,  2K002AB06 ,  2K002BA06 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EA30 ,  2K002GA07 ,  2K002HA02 ,  2K103AB07 ,  2K103BA02 ,  2K103BA11 ,  2K103BA15 ,  2K103BC14 ,  2K103BC37 ,  2K103BC45 ,  2K103CA20 ,  2K103CA53 ,  2K103CA60 ,  2K103CA75
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 特開平1-245780号公報
  • 特開平3-109591
  • レーザ露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-196331   出願人:ノーリツ鋼機株式会社
引用文献:
出願人引用 (1件)
  • "Wide-angle, low-voltage electro-optic beam deflection based on space-charge-controlled mode of elec

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