特許

J-GLOBAL ID：200903022574634660

結晶軸の傾き角度測定方法

発明者： 岩田 宏 ,  永塚 真史
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197463
公開番号（公開出願番号）：特開平11-037958
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】結晶方位の測定を簡易、迅速に行うことができる結晶方位測定方法の提供。【解決手段】オリフラを下に向けた時と、上に向けた時のインゴット軸の結晶軸に対するX方向の傾き角度X0 、X180 を測定する。そして、その測定結果X0、X180 とインゴットの結晶軸に対応するブラッグ角θから、インゴット軸の結晶軸に対するX方向の傾き角度αとY方向の傾き角度βとを次式で算出して、インゴット軸の結晶軸に対する傾き角度を取得する。

請求項（抜粋）：

インゴットに形成されたオリフラに平行な方向をX方向、オリフラに垂直な方向をY方向としたときの、インゴット軸に対する結晶軸のX方向の傾き角度αと、Y方向の傾き角度βを測定する結晶軸の傾き角度測定方法において、X線方位測定器を用いて、前記オリフラを一方向に向けた状態におけるインゴット軸に対する前記結晶軸のX方向の傾き角度X0 と、オリフラを前記一方向とは180度反対方向に向けた状態におけるインゴット軸に対する前記結晶軸のX方向の傾き角度X180 を測定し、その測定結果X0 、X180 と前記結晶軸に対応するブラッグ角θから、インゴット軸に対する前記結晶軸のX方向の傾き角度αとY方向の傾き角度βとを次式α=(X0 -X180 )/2で算出して取得することを特徴とする結晶軸の傾き角度測定方法。

IPC (3件)：

G01N 23/20 ,  C30B 33/00 ,  G01B 15/00

FI (3件)：

G01N 23/20 ,  C30B 33/00 ,  G01B 15/00 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 単結晶インゴットの方位測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-207372   出願人：理学電機株式会社
• 特開平3-138550