特許
J-GLOBAL ID：200903022618411434
感光性樹脂組成物、パタ-ンの製造法及び電子部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018392
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214586
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】本発明は、製造法が容易で、特に保存安定性、パターン性に優れる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)【化1】(4つのRは、各々独立に炭化水素基であり、A-は一般式(1)中のR4N+とイオン結合を形成する酸の陰イオンである)で表わされるアンモニウム塩化合物及び(b)ポリイミド前駆体を含有してなる感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)【化1】(4つのRは、各々独立に炭化水素基であり、A-は一般式(1)中のR4N+とイオン結合を形成する酸の陰イオンである)で表わされるアンモニウム塩化合物及び(b)ポリイミド前駆体を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/037 501
, C08G 73/00
, C08K 5/19
, C08L 79/08
, C09D 5/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/312
G03F 7/037 501
, C08G 73/00
, C08K 5/19
, C08L 79/08 A
, C09D 5/00 C
, G03F 7/004 501
, H01L 21/312 D
