感光性樹脂組成物及び電子部品用保護膜

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-051418
公開番号（公開出願番号）：特開平7-319162
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【構成】本発明の感光性樹脂組成物は、下記一般式、【化1】〔式中、Xは4価の有機基、Yは2価の有機基、R1〜R9は、水素原子または炭素数1〜10の炭化水素基であり、p,q及びmは1以上の整数〕で表されるポリイミド前駆体とo-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとから成る。【効果】イオン性不純物の混入がほとんどなく、その溶液は、保存安定性に優れ、また良好な感度を有しており、容易にパターン化された樹脂皮膜を与える。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1):【化1】式中、Xは芳香族環または脂肪族環を有する4価の有機基、Yは2価の有機基、R1 、R2 及びR3 は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または炭素数1〜10の一価の有機基であり、p,q,mは、1以上の整数であり、1/20≦q/p≦9、を満足する整数である、で表される重合体(A)と、感光性ジアゾキノン化合物(B)とを含有して成る感光性樹脂組成物。

IPC (11件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 NTF , C08L 79/08 LQZ , G03F 7/022 , G03F 7/038 504 , G03F 7/075 511 , H01L 21/027 , H01L 21/312 , H01L 23/29 , H01L 23/31 , H05K 3/28

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R , H01L 23/30 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

特公昭43-018790
特開昭62-275129
特開昭64-031150

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