特許
J-GLOBAL ID：200903022630463636
圧電素子製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-190068
公開番号（公開出願番号）：特開平11-034341
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッドを小型化し、これを高解像度化することが可能な圧電素子の製造方法等を提供する。【解決手段】 圧電体層21のインク室15と反対側の表面に共通電極24を形成し、次に、共通電極24が形成された圧電体層21に積層して圧電体層22を形成する。そして、圧電体層21及び22並びに共通電極24を焼成する。焼成後に圧電体層21及び22予め設定された方向に分極させ、分極後に、圧電体層22の圧電体層21と反対側の表面のインク室15に対応する位置に個別電極23を形成する。焼成後にその表面に個別電極23を形成するので、個別電極23の形成時に焼成による縮み変形の影響を受けることなく、インク室15の位置に正確に適合させて個別電極23を形成できる。
請求項（抜粋）：
インク室内に貯留されているインクに圧力変動を与えることにより当該インクを吐出させて記録情報の記録を行うインクジェットヘッドにおける前記圧力変動を与える圧電素子の製造方法であって、前記インク室の壁面の一部を形成するように当該インク室及び当該インク室の周縁部に固定される第1圧電体層の前記インク室と反対側の表面全体に共通電極を形成する共通電極形成工程と、前記第1圧電体層の前記共通電極が形成された面に積層して第2圧電体層を形成する積層工程と、前記第1圧電体層、前記共通電極及び前記第2圧電体層を焼成し、前記第1圧電体層に相当する第1焼成圧電体層及び前記第2圧電体層に相当する第2焼成圧電体層を形成する焼成工程と、前記焼成工程後に前記第1焼成圧電体層及び前記第2焼成圧電体層を予め設定された方向に分極させる分極工程と、前記分極工程後に、少なくとも前記第1焼成圧電体層と前記第2焼成圧電体層のうち、いずれか一方の層の外側の表面の前記インク室に対応する位置に個別電極を形成する個別電極生成工程と、を備えることを特徴とする圧電素子製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
