リークテスト装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-045550
公開番号（公開出願番号）：特開平11-241971
出願日： 1998年02月26日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【目的】被試験体2をその使用圧力域でグロースリーク検出を正確に測定する装置を提供する。【解決手段】被試験体2を収容するチャンバと、このチャンバ1に収容された状態の被試験体2にプローブガスを封入する手段と、前記チャンバ1の内部を真空に排気し被試験体2に封入されたプローブガスの漏れを検出するリークディテクタによって構成されるリークテスト装置において、前記チャンバ1とリーク圧力センサを設け被試験体2にプローブガスを封入した後のチャンバの圧力を前記圧力センサ10が検出することによりグロースリークの有無を判別できるようにした。このような構成により、被試験体2のリークテストがその被試験体2の使用される圧力で行なわれ、かつグロースリークが正確かつ迅速におこなわれる。

請求項（抜粋）：

被試験体を収容するチャンバと、このチャンバに収容された状態の被試験体にプローブガスを封入する手段と、前記チャンバの内部を真空に排気し被試験体に封入されたプローブガスの漏れを検出するリークディテクタを備えたリークテスト装置において、前記チャンバとリークディテクタとの接続系に、開閉弁を介設するとともに、チャンバと開閉弁との間の接続系に圧力センサを接続し、被試験体にプローブガスを封入した後のチャンバの圧力を前記圧力センサが検出することによりグロースリークの有無を判別できるようにしたことを特徴とするリークテスト装置。

IPC (3件)：

G01M 3/00 , G01M 3/20 , G01M 3/32

FI (3件)：

G01M 3/00 K , G01M 3/20 E , G01M 3/32 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-061738
特開平2-122234
特開昭59-061738

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